Fiber Probe二維及三維光纖傳感器測頭的詳細(xì)資料：

Werth 測量機(jī)的測量范圍從幾十個(gè)毫米到數(shù)米，精度從幾個(gè)微米到百個(gè)納米，測量分辨率zui高到達(dá)1個(gè)納米，可以集成進(jìn)去使用的測量傳感器：接觸式單點(diǎn)、接觸式掃描、 低接觸力測頭、激 光、激光線掃描、快速激光、WERTH光纖側(cè)頭，WERTH光學(xué)測頭、普通光學(xué)測頭、可見光干涉測頭、接觸式和激光復(fù)合的粗糙度測頭，WERTH CT (X 光高精度)測頭等十多種。

Werth 光纖測頭 WFP 3D 主要特點(diǎn)：

世界上zui小的和zui精確的接觸式測頭 
◆ 技術(shù) 
◆ 接觸式的光纖測頭，測量數(shù)據(jù)通過圖象處理傳感器來分析
◆ 在Werth所有安裝有光學(xué)測量傳感器的測量機(jī)中都可以安裝光纖測頭
◆ 光強(qiáng)通過CNC控制
◆ 全自動(dòng)的常規(guī)幾何和輪廓形貌的測量和掃描
◆ 3D測量軟件WinWerth®，具有Windows的操作風(fēng)格
◆ 提供標(biāo)定光纖測頭的軟件
◆ 應(yīng)用范圍，例如：橡膠和塑料件，量塊，微小齒輪，發(fā)動(dòng)機(jī)噴油孔，標(biāo)定光學(xué)鏡頭等
◆ 可以測量的zui小幾何尺寸為10個(gè)微米, 測量精度小于一個(gè)微米
◆ 可以測量宏觀幾何尺寸(如長度，直徑等), 也可以測量微觀幾何數(shù)據(jù)(如粗糙度)
◆ 是一個(gè)三維的測量傳感器, 可以單點(diǎn)測量, 也可以通過掃描來測量
◆ 測量時(shí)的接觸力非常小，幾乎可以忽略不計(jì)
◆ 根據(jù)測量任務(wù)的要求，Werth光纖測頭可以在自身照明或者外部下射光的照明條件下測量
◆ 常見的應(yīng)用范圍包括發(fā)動(dòng)機(jī)的噴油嘴(Fig. 1)，微小齒輪(Fig. 2)，用EDM制造的零件和刀具，航空發(fā)動(dòng)機(jī)頁片上的散熱孔，電極板，微小電機(jī)的零件等

應(yīng)用范圍：

◆ 發(fā)動(dòng)機(jī)噴油嘴
◆ 小齒輪
◆ 塑膠件
◆ 量具
◆ 模具
◆ 光纖部件
◆ 光學(xué)部件的標(biāo)定等等
技術(shù)參數(shù):

◆ zui小測頭直徑為20微米，可以用于測量非常小的零件的幾何細(xì)節(jié)，如孔，角度等。
◆ 微小的接觸誤差。光纖測頭直接接觸待測物體的微觀幾何。

 
測量精度（MPE*）：
使用10倍放大倍數(shù)的固定光學(xué)系統(tǒng)
◆ 單點(diǎn)測量：
P1XY：0,5 μm
P2XY：0,6 μm
◆ 掃描：
THP1XY：1,5 μm
THP2XY：1,5 μm
使用Werth Zoom:
◆ 單點(diǎn)測量：
P1XY：1,1 μm
P2XY：1,5 μm
◆ 掃描:
THP1XY：2,0 μm
THP2XY：2,0 μm
◆ 非常小的接觸力，zui小到1 μN
◆ 可換的遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭，放大倍數(shù)從1到100。測量頭的直徑可以從0.020 mm到數(shù)個(gè)mm。
* 根據(jù)ISO 10360和VDI 2617。